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第512章 527 接下来要做的就只有等待了（第3页）

一台没有外壳线路外露的光刻机摆在实验室的中心，十几名研究人员正在做光刻机最后的检查。

“何工，你们的反射镜调整完毕了吗？”魔都微电子董事长贺明走到何朝阳身边问道。

“贺总，我们的反射镜已经准备完毕了，我们这边的参数已经调整好了。”何朝阳回道。

何朝阳这段时间一直都在魔都这边出差，EVU光刻机有两个核心部件，这两个部件就是反射镜和光源，这两个部件也是EVU光刻机核心中的核心，眼前这台EVU光刻机使用的就是深蓝的技术。

所以何朝阳才会出现在这里。

很多人不知道EUV镀膜玻璃做的透镜，其实EUV光刻机使用的是反射镜，这种反射镜也不是用玻璃做的，这种反射镜是用硅与钼来制作的，因为EVU光源温度比较高玻璃根本支撑不住。

唯有硅与钼的反射透镜才能够支撑这个温度。

其实的研究室早就掌握了硅与钼制作反射镜的方法，难在反射镜镜片误差不能超过误差不超过0。05纳米，国外一直都是用手搓的方式来进行制造的，我们国内根本就找不到这样的人才来手搓镜头。

这种工艺就算是最高端的机床也没有办法做到。

这也是为什么我们一直没办法制造高端光刻机的原因之一。

深蓝科技的解决方法就是在深蓝的石墨烯镜头上镀一层反射薄膜，这种薄膜不但不会损耗紫外极光的光源，而且石墨烯镜头可以通过电离子来操控角度，在电离子操控下角镜头度误差不会超过0。03纳米。

这种镜头唯一的问题就是它的寿命不长，长期使用镀膜会因为紫外极光而损耗，每隔一个月就需要更换一次镜头。

不过这种镜头的制作工艺十分简单，批量制作这种镜头并不难。

大家都知道光刻机安装好以后是不能轻易去动它的，一旦动了就很有可能因为精度问题导致机器出现偏差，一旦机器出现偏差制造出来的芯片就会报废。

现在唯一难点就是如何在更换镜头的时候让机器不出现偏差。

当然这个是后面需要解决的问题。

他们现在要做的就是验证深蓝科技所提供的反射镜和光源是否能够使用。

要是能够使用他们就会确认光刻机的制造方案，然后再去解决光刻机更换镜头出现误差的问题。

“张博士，你们的光源解决了吗？”贺明看向一旁的张永升问道。

张永升正是深蓝科技研究EUV光源的负责人。

“贺总，我们这边已经调试好了。”张永升回道。

“各部门调整完备没有？”贺明看向其他人问道。

“贺总，我们已经调整完毕了。”众人回道。

“大家离开光刻机进入测试阶段。”贺明大声叫道。

随着贺明的声音响起众人纷纷离开光刻机退出光刻机实验室，一众人退出实验室以后来到了外面的操控台，贺明再次向实验室的研究人员确认光刻机准备完毕。

在得到众人答复后他按下了光刻机的执行键。

这个时候实验室的设备开始运转起来，光刻机实验室的空气被抽干，整个实验室进入真空状态，光刻机必须要在真空状态下才能运行，因为这台光刻机还没有安装外壳的原因。

最简单的方法就是将整个实验室的空气抽干将实验室转换成真空状态。

光刻机的光刻台也在这个时候开始运转起来。

光刻机将一片晶圆刻录完毕，机器人将晶圆从机器上取出，随后机器人将晶圆放入输出窗，技术员也在输出窗那拿到晶圆，接下来就是对晶圆的刻蚀和清洗。

只有经过这两个步骤以后才能确认光刻机刻录是否成功。

这两个过程需要花将近二十个小时来完成，接下来他们要做的就只有等待了，只要结果出来就知道是否成功了。