“老连,辛苦你了,前所未有的壮举啊!”陈飞一见面就夸赞道。
连学志带着温和的笑容:“多亏了陈总你们的仿真模型,非常精确,在模型里设计流程,与真实的情况对比,几乎没有差错。我们开发起工艺来,就容易很多,而且全息投影也非常直观。它是跨时代的生产力工具!”
“哈哈。”陈飞笑道,“我们两个,夸来夸去的,好像是在相互吹捧啊。”
股东代表笑道:“不是吹捧,你们当得起这份赞誉。”
连学志说道:“两位,这块芯片,就是早先完成的第一次流片,我们正在进行性能测试。现在开始第二次试制?”
“好。”
陈飞其实早从设备记录中,就知道详细结果了,但是他还是想亲自再看看。他是如此的开心,以至于这些冷冰冰的机器的每一丝运转,都能拨动他的心弦。
“两位,这个盒子就是用来盛放晶圆的无尘盒,它会在晶圆周围形成一个电磁场,灰尘无法穿过。”
陈飞点头道:“无尘盒虽然重要,但是原理很简单,不难做。”
连学志高兴的说道:“关键在于0。5寸晶圆!国内目前无法生产12寸晶圆柱,全部都要进口,RB每年都能赚不少钱,利润很高。但是国内能生产8寸晶圆柱,0。5寸更简单,应该也不会有问题。”
股东代表笑道:“好!又是一个关键点被解决了!”
晶圆柱越大越难做,国内能做8寸,0。5寸当然更不成问题。材料能够本地化生产,芯片的成本会下降一大截。说句以前时髦的话,还能拉动GDP,抢掉对手的生意。
连学志继续介绍:“光罩库的组建也很快,12寸厂的光罩,就像雕版印刷,每次刻版,都要花很长时间;我们的光罩库,就像活字印刷,把单元光罩分给各个厂一起生产,很快就组建好了。”
“好!”
“下面就是投影光刻,利用光罩,完成区域蚀刻。”
这一步相当快,几秒钟就完成了。
然后,蛋疼的地方就来了。
“下面是电子束直写,它是逐点的把图形补齐,速度比较慢。”
大家看着全息影像中,电子束一点一点将图形蚀刻出来。
股东代表说道:“我看着还是挺快的嘛。”
陈飞摇头道:“问题是有几十亿个点。”
大家顿时不说话了。
又过了十多分钟,整套流程终于完成,大家一看计时器,15分08秒012毫秒。
股东代表默默计算了一下,激动地说道:“一年有三万片的产量了!”
陈飞摇头:“商业上完全无法生存。”
“但是已经可以用在很多领域了!连教授,干得好啊!”他不停地搓着手,如果不是环境特殊,说不定要鬼哭狼嚎了。
连学志笑道:“现在已经能用来小规模流片了,能不能取得更大成功,还要看陈总的快速电子束光刻机。”